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    楼主
    发表于 2004-6-16 08:55 | 显示全部帖子
    有点道理,象CRT显示器,中间的比四周的聚焦要好,做晶圆应该也差不多吧,都是透镜原理,只不过显象管是电子透镜,光刻机的是光学透镜吧。

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