以下是引用XiongGQ在2004-6-16 8:55:59的发言： 有点道理，象CRT显示器，中间的比四周的聚焦要好，做晶圆应该也差不多吧，都是透镜原理，只不过显象管是电子透镜，光刻机的是光学透镜吧。

有点不着四六，呵呵

以下是引用wuyuetiger在2004-6-16 16:44:59的发言： 20英寸的晶圆要量产了吧,xiongGQ一点没说错,CPU靠光刻技术烧刻出来的,就是用的紫外线和复杂的透镜系统(现在有新技术是用平面镜的),一台光刻机可是价值不菲.既然用了透镜,那中央的误错应该相对小点的,成品率会高.再成熟的光刻技术都会产生一定量的废品或次品,原因就是空气中的杂质所致.

应该和单晶硅结晶品质有关，和光刻没什么关系吧？